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含氟电子化学品技术

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工艺技术介绍

电子级氢氟酸技术
将无水氟化氢经化学预处理后,进入精馏塔通过精馏操作,得到氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度
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四氟化硅、高纯氟硅酸及硅烷技术
以工业级氟硅酸为原料,经过合成、过滤、热解工序获得四氟化硅粗品,经过精制后获得高纯四氟化硅气体。
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