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电子级氢氟酸技术

【概要描述】将无水氟化氢经化学预处理后,进入精馏塔通过精馏操作,得到氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度

电子级氢氟酸技术

【概要描述】将无水氟化氢经化学预处理后,进入精馏塔通过精馏操作,得到氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度

  1、工艺技术介绍

  将无水氟化氢经化学预处理后,进入精馏塔通过精馏操作,得到氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化,随后经0.2um以下超滤工序,最后在密闭洁净环境条件下进行灌装得到最终产品。

  2、技术优势

  (1)装置占地小,技术成熟可靠,设备投资小。

  (2)工艺成熟、可靠,合成率高。

  3、工艺流程图

3-8

  4、产品指标

  表1 电子级氢氟酸产品质量指标

项目

指标

EL级

UP级

UP-S级

氢氟酸(HF) w/%

49+0.5

49+0.5

49+0.5

色度≤

10

10

10

硅氟酸 H2SiF6ppb≤

100000

20000

20000

氯化物 Cl ppb≤

5000

5000

500

硝酸盐 NO3ppb≤

3000

3000

3000

磷酸盐 PO4ppb≤

1000

1000

100

亚硫酸盐 SO3 ppb≤

5000

2000

200

硫酸盐 SO4 ppb≤

5000

500

200

铝(Al)ppb≤

100

10

1

砷(As)ppb≤

50

10

1

钡(Ba)ppb≤

100

10

1

铍(Be)ppb≤

20

5

1

铋(Bi)ppb≤

20

5

1

镉(Cd)ppb≤

50

10

1

钙(Ca)ppb≤

100

10

1

铬(Cr)ppb≤

20

10

1

钴(Co)ppb≤

20

10

1

铜(Cu)ppb≤

20

10

1

镓(Ga)ppb≤

20

10

1

锗(Ge)ppb≤

20

10

1

金(Au)ppb≤

20

10

1

铁(Fe)ppb≤

100

10

1

铅(Pb)ppb≤

50

10

1

锂(Li)ppb≤

20

5

1

镁(Mg)ppb≤

200

10

1

锰(Mn)ppb≤

20

10

1

钼(Mo)ppb≤

100

10

1

镍(Ni)ppb≤

50

10

1

钾(K)ppb≤

100

10

1

银(Ag)ppb≤

20

5

1

钠(Na)ppb≤

200

10

1

铂(Pt)ppb≤

100

10

1

锶(Sr)ppb≤

 

10

1

铊(Tl)ppb≤

 

10

1

锡(Sn)ppb≤

20

10

1

锑(Sb)ppb≤

 

10

1

钛(Ti)ppb≤

100

10

1

矾(V)ppb≤

 

10

1

锌(Zn)ppb≤

50

10

10

颗粒(≥0.5μm)个/ml≤

25

25

25

颗粒(≥0.3μm)个/ml≤

 

150

150

颗粒(≥0.2μm)个/ml≤

 

300

300

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