电子级氢氟酸技术
- 分类:含氟电子化学品技术
- 作者:
- 来源:
- 发布时间:2022-05-09
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【概要描述】将无水氟化氢经化学预处理后,进入精馏塔通过精馏操作,得到氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度
电子级氢氟酸技术
【概要描述】将无水氟化氢经化学预处理后,进入精馏塔通过精馏操作,得到氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度
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1、工艺技术介绍
将无水氟化氢经化学预处理后,进入精馏塔通过精馏操作,得到氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化,随后经0.2um以下超滤工序,最后在密闭洁净环境条件下进行灌装得到最终产品。
2、技术优势
(1)装置占地小,技术成熟可靠,设备投资小。
(2)工艺成熟、可靠,合成率高。
3、工艺流程图
4、产品指标
表1 电子级氢氟酸产品质量指标
项目 |
指标 |
||
EL级 |
UP级 |
UP-S级 |
|
氢氟酸(HF) w/% |
49+0.5 |
49+0.5 |
49+0.5 |
色度≤ |
10 |
10 |
10 |
硅氟酸 H2SiF6ppb≤ |
100000 |
20000 |
20000 |
氯化物 Cl ppb≤ |
5000 |
5000 |
500 |
硝酸盐 NO3ppb≤ |
3000 |
3000 |
3000 |
磷酸盐 PO4ppb≤ |
1000 |
1000 |
100 |
亚硫酸盐 SO3 ppb≤ |
5000 |
2000 |
200 |
硫酸盐 SO4 ppb≤ |
5000 |
500 |
200 |
铝(Al)ppb≤ |
100 |
10 |
1 |
砷(As)ppb≤ |
50 |
10 |
1 |
钡(Ba)ppb≤ |
100 |
10 |
1 |
铍(Be)ppb≤ |
20 |
5 |
1 |
铋(Bi)ppb≤ |
20 |
5 |
1 |
镉(Cd)ppb≤ |
50 |
10 |
1 |
钙(Ca)ppb≤ |
100 |
10 |
1 |
铬(Cr)ppb≤ |
20 |
10 |
1 |
钴(Co)ppb≤ |
20 |
10 |
1 |
铜(Cu)ppb≤ |
20 |
10 |
1 |
镓(Ga)ppb≤ |
20 |
10 |
1 |
锗(Ge)ppb≤ |
20 |
10 |
1 |
金(Au)ppb≤ |
20 |
10 |
1 |
铁(Fe)ppb≤ |
100 |
10 |
1 |
铅(Pb)ppb≤ |
50 |
10 |
1 |
锂(Li)ppb≤ |
20 |
5 |
1 |
镁(Mg)ppb≤ |
200 |
10 |
1 |
锰(Mn)ppb≤ |
20 |
10 |
1 |
钼(Mo)ppb≤ |
100 |
10 |
1 |
镍(Ni)ppb≤ |
50 |
10 |
1 |
钾(K)ppb≤ |
100 |
10 |
1 |
银(Ag)ppb≤ |
20 |
5 |
1 |
钠(Na)ppb≤ |
200 |
10 |
1 |
铂(Pt)ppb≤ |
100 |
10 |
1 |
锶(Sr)ppb≤ |
10 |
1 |
|
铊(Tl)ppb≤ |
10 |
1 |
|
锡(Sn)ppb≤ |
20 |
10 |
1 |
锑(Sb)ppb≤ |
10 |
1 |
|
钛(Ti)ppb≤ |
100 |
10 |
1 |
矾(V)ppb≤ |
10 |
1 |
|
锌(Zn)ppb≤ |
50 |
10 |
10 |
颗粒(≥0.5μm)个/ml≤ |
25 |
25 |
25 |
颗粒(≥0.3μm)个/ml≤ |
150 |
150 |
|
颗粒(≥0.2μm)个/ml≤ |
300 |
300 |